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薄膜電路及元件

薄膜電路:采用真空鍍膜、紫外光刻、刻蝕以及電鍍等工藝,在陶瓷基片上進行無源器件、絕緣介質膜及金屬導帶等的集成,從而制備得到具有特定功能的電路。

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